武汉芯致半导体有限公司
信息来源：葛店经开区
日期：2023-05-16
武汉芯致半导体有限公司
企业简介
武汉芯致半导体有限公司是由知名央企-清华同方联合行业资深团队共同投资设立，注册资本为人民币1亿元。公司厂区位于鄂州市葛店开发区武鄂高速以南，发展大道以西。公司主营业务紧紧围绕半导体精密装备及零部件材料生产进行拓展，从半导体精密装备及零部件材料、新品制作一直覆盖半导体精密装备及零部件清洗再生修复及相关设备的研发、生产、销售及服务，属于国务院确定的七个战略性新兴产业之一的新一代信息技术产业。
截至目前（2022年9月）公司共申请专利23件，均已受理。其中发明专利2件，实用新型专利21件，发起商标注册类别2项，受让发明专利转让3项，并荣获湖北省科技型中小企业称号。
业务背景：
集成电路制造工艺复杂繁多，在每个制作过程中都会导致设备部件沾染颗粒，离子杂质等污染物，以及部件表面受损，必须进行精密清洗再生修复。晶圆厂可分为四大制程：薄膜（TF）、黄光（PH）、蚀刻（ETCH）、扩散（DF），每个制程的部件都需要进行清洗再生修复；精密再生修复的周期会根据芯片类型、制作工艺、设备年限、产品良率、运行时间等因素来决定。因设备众多，在产厂家每天都会产生批量的需求，随着产能的扩大而超比例增长。
主营三大模块：
一、零部件精密清洗
主要对以下半导体部件污染物进行清洗
精密清洗图示：
二、零部件再生修复
主要针对AMAT（应用材料）LAM（泛林半导体）TEL（东京电子）三大半导体设备商的部件
产品名称：Chamber liner Liner door Outer liner
流程状态图：
铝+阳极部件→部件遮护→电浆熔射
三、零部件国产化
化学气相沉积 (CVD) 和蚀刻工艺是半导体制造的重要阶段。这些工艺中使用的组件必须能够固定硅晶圆，均匀加热它们，并保护它们免受气体和等离子体引起的腐蚀。为了满足这些需求，充分利用包括氮化铝 (AlN) 陶瓷在内的各种材料的独特特性，我们可以提供静电吸盘(E-Chucks)、Ceramic Heaters （加热器）、反应腔喷淋头(Shower Head)、边缘环(Edge Ring）等半导体制造设备中使用的各种其他产品
静电吸盘（E-chucks）
陶瓷加热器（Ceramic heaters）
反应腔喷淋头(Shower Head)
边缘环(Edge Ring）
公司联系人：张进，18871864010
附件：
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